Ing. Šárka Salačová Ph.D.

A stand-alone compact EUV microscope based on gas-puff target source

Rok vydání
2017
Vydání
Journal of Microscopy. 2017, 265(2), 251-260. ISSN 0022-2720.
Autoři
Torrisi, A. Wachulak, P. Wegrzynski, L. Fok, T. Bartnik, A. Parkman, T. Salačová, Š. Turňová, J. Jankiewicz, B. Bartosewicz, B. Fiedorowicz, H.